常用凈化車間潔凈度等級(jí)一覽表
凈化車間的級(jí)別一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4個(gè)級(jí)別。但根據(jù)各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的作業(yè)工序不同，形成必要的級(jí)別是不一樣的。例如，在半導(dǎo)體制造工廠等里邊，根據(jù)作業(yè)內(nèi)容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的凈化間。而且，在制藥工廠里，根據(jù)產(chǎn)品的純度、作業(yè)工序，需有從M3.5到M6.5（100，000）范圍廣泛的級(jí)別不等凈化間。因此說，各種產(chǎn)業(yè)所需要的凈化間，其要求的潔凈度是不同的。
表：各產(chǎn)業(yè)所要求的凈化車間級(jí)別一覽
領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè) | 潔凈度標(biāo)準(zhǔn)（級(jí)別） | 內(nèi)容 | ||
SI | English unit | |||
半導(dǎo)體工業(yè)（IC、LSI等） | 掩模板對(duì)準(zhǔn)工藝 | M3.5 | 100 | |
刻蝕工藝 | M3.5 | 100 | 腐蝕加工 | |
擴(kuò)散工藝 | M3.5 | 100 | 高純度擴(kuò)散 | |
蒸著工藝 | M3.5 | 100 | 高純度電鍍 | |
涂布工藝 | M3.5 | 100 | 感光劑涂布 | |
電子設(shè)備 | 計(jì)算器制造 | M5.5 | 10,000 | 磁頭 |
陰極射線管 | M5.5 | 10,000, | 遮屏 | |
磁帶 | M5.5 | 10,000 | 防止雜音 | |
精密儀器 | 陀螺、微型軸承 | M5.5 | 10,000 | 提高精度 |
部件、繼電器 | M5.5 | 10,000 | 防止誤動(dòng)作 | |
鐘表、小型計(jì)量儀器 | M5.5 | 10,000 | 組立、封裝、修理 | |
光學(xué)、印刷 | 照相機(jī)、印刷電路板 | M5.5 | 10,000 | 制作 |
鏡頭、膠片 | M4.5 | 1,000 | 連接 | |
電子制版 | M5.5 | 10,000 | 制作、檢查 | |
化學(xué)藥品 | 注射液充填 | M3.5 | 100 | 調(diào)和、充填 |
無菌動(dòng)物養(yǎng)育 | M3.5 | 100 | SPF | |
化學(xué)藥品 | 抗生物 | M5.5 | 10,000 | 充填、檢查 |
一般醫(yī)療品 | M6.5 | 100,000 | 制造 | |
食品 | 釀造、發(fā)酵 | M5.5 | 10,000 | 防止醬油、大醬腐壞 |
乳制品、生食品 | M6.5 | 100,000 | 防止酸乳酪變質(zhì) | |
食肉加工 | M5.5 | 10,000 | 火腿、香腸 | |
攪拌(弄成糊狀)食品 | M5.5 | 10,000 | 攪拌后備烤的圓筒形、半圓形魚肉、魚肉山芋丸子等食品制冷時(shí)防止細(xì)菌粘附上。 | |
醫(yī)療 | 手術(shù)室 | M3.5 | 100 | 股關(guān)節(jié)手術(shù)、臟器移植 |
特殊治療室 | M3.5 | 100 | 白血病、燙傷 | |
恢復(fù)、新生兒室 | M3.5 | 10,000 | 早產(chǎn)兒、術(shù)后防止感染 | |
臨床檢查 | M5.5 | 10,000 | 菌類培植、檢查 | |
農(nóng)林畜產(chǎn) | 蘑菇栽培 | M5.5 | 10,000 | 防止蘑菇種菌被雜菌感染 |
植物 | M6.5 | 100,000 | 蘭花栽培（試驗(yàn)用無菌植物、強(qiáng)勢培植植物） | |
養(yǎng)殖 | M5.5 | 10,000 | 防止魚、蠶類因菌侵襲致死 | |
微生物工程 | 一般病原體 | M3.5 | 100 | 馬爾堡病毒、拉薩氏熱、艾伯拉出血熱（排出空氣） |
基因轉(zhuǎn)換 | M3.5 | 100 | 大腸菌（排出空氣） | |
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